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使用扫描电镜前需要做哪些准备?

日期:2025-07-23

在使用扫描电镜(SEM)之前,良好的前期准备对确保成像质量、避免样品损坏和仪器污染至关重要。以下是系统性的准备流程:

一、样品制备准备

1. 确保样品干燥

所有样品都须完全干燥,避免水分在真空中挥发导致图像漂移或污染真空系统;

含水或潮湿样品需进行冷冻干燥、真空干燥或临时冷冻制备。

2. 清洁表面

清除灰尘、油污和杂质,避免成像中出现杂点;

可用毛刷、无尘布、乙醇或压缩空气轻轻清洁样品。

3. 调整尺寸

样品尺寸应适配样品台尺寸和样品室空间;

避免过大或过高,否则无法正常装入样品舱。

4. 增强导电性(若为非导体)

非导体样品(如生物样品、塑料、陶瓷等)需喷镀导电层,如金、铂、碳;

防止电荷积累造成成像模糊或亮斑;

可使用真空镀膜仪进行金属喷镀处理。

二、样品固定准备

1. 用导电胶或碳胶带固定

将样品牢固粘在样品托上,防止在抽真空或倾斜中移位;

接地良好,避免静电干扰;

大块样品也可用金属夹或螺丝夹持。

2. 避免胶带靠近观测区域

碳胶带等可能在能谱分析中引入干扰元素(如碳、氧);

观察区域应尽量避开粘附材料。

三、仪器和操作前准备

1. 确认样品舱清洁

样品装入前确认腔体无灰尘、无残留污染;

若曾使用生物或油性样品,应先清洁样品室。

2. 设置加速电压、电流参数

根据样品类型预设适当参数(一般从低电压/电流开始);

柔软或易烧蚀材料应先用低电压成像。

3. 检查样品台位置

样品在样品台上的位置要适中,方便定位;

如需倾斜观察或多点扫描,应预估角度与空间。

4. 如有需要,做好编号与定位

扫描多个区域或不同样品时,提前编号方便管理;

可在样品边缘做轻微标记(不影响观测区域)。

四、特殊需求准备(如能谱分析、冷冻观察等)

若计划进行 EDS 能谱分析,应避免使用含干扰元素的导电胶;

若进行 冷冻电镜观察(Cryo-SEM),需配合冷冻转移与冷台;

若涉及断面或微结构观察,样品表面应尽量平整或经抛光处理。


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作者:泽攸科技