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在扫描电镜（SEM）成像过程中，图像边缘出现像差，常见表现包括模糊、拉伸、畸变或亮度不均，主要是由于电子束聚焦性能在边缘区域变差导致的。下面是详细原因解释：

一、图像边缘出现像差的主要原因

1. 电子光学像差（主要原因）

扫描电镜中的聚光透镜和物镜无法对所有区域电子束实现理想聚焦，尤其在图像中心以外区域（边缘）像差显著增加；

包括：

球差：束线距离轴线越远，焦点越偏离；

彗差：束线非对称分布造成图像边缘拖尾；

场曲像差：焦面为曲面，图像边缘处于焦外区域而模糊。

2. 工作距离设置不合理

若工作距离设置过短或过长，电子束在边缘区域聚焦性能下降；

特别是在低放大倍率下，视野大，边缘更容易脱焦。

3. 扫描区域太大

当观察面积较大，尤其使用大视野或广角探测模式时，边缘区域离光轴远，电子束发生偏斜，像差增强；

电子束在边缘“倾斜入射”，导致畸变。

4. 样品不平整或倾斜

样品表面不平或倾斜，导致图像不同区域距离电子枪高度不一；

中央清晰但边缘偏离焦点，出现模糊或亮度变化。

5. 电荷积聚或边缘放电

如果样品为非导体，且未喷镀金属，边缘区域更容易积累电荷或局部放电，干扰电子束，导致边缘图像扭曲或模糊。

6. 像差校正未启用或误差补偿不全

某些SEM 配备电子像差校正系统（如 Cs 校正）；

若未校正或失调，也容易在边缘造成图像质量下降。