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在扫描电镜（SEM）观察过程中，非导体样品或导电性差的样品表面容易积累电荷，这会导致图像发白、模糊、漂移甚至“闪烁”，严重影响成像质量。要释放或消除样品表面的电荷积累，可以通过以下几种方法：

一、常用方法：喷镀导电层

喷镀金属（碳、金、铂等）

在样品表面镀上一层超薄金属导电膜（几纳米至几十纳米），提供放电通路；

碳膜适用于能谱（EDS）或表面分析；

金膜或金钯合金膜适合高分辨形貌观察；

使用设备：喷镀仪（如碳蒸发仪、金喷镀仪）。

二、常规辅助方法（可配合喷镀或单独使用）

使用导电胶、导电碳带

将样品粘贴在导电胶或碳带上，确保与样品台电接地；

适用于尺寸小或局部不规则的样品；

可用导电银浆点在样品边缘，形成放电路径。

减小加速电压（Low kV 模式）

减低加速电压到 1–5 kV，电子束穿透深度降低，表面电荷积累减少；

可搭配二次电子探测器成像，适合观察表面形貌。

加入低真空/环境压力成像模式（如 VP-SEM）

某些 SEM 具有“低真空”或“变量压力（VP）”模式；

引入少量气体（如水蒸气）帮助中和电荷；

电离气体与样品表面接触后，带走电子释放电荷。

适用于不适合喷镀的样品，如生物组织、湿样、微粉末等

三、特殊方法（某些型号支持）

使用电荷中和器或中和电子枪

特定型号的 SEM 配备中和电子束或离子源；

向样品表面释放低能电子或离子流中和电荷；

常用于观察非导体或冷冻样品。

表面接地处理

对较大的样品可使用细铜丝与样品连接，再接到样品台；

特别适用于陶瓷、玻璃等块体样品。

四、如何判断电荷已释放？

图像不再发白或漂移；

边缘细节清晰，亮度分布正常；

样品放大倍数提升后仍然稳定；

对比处理前后图像的噪声、纹理和稳定性。