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扫描电镜的扫描范围可以放大或缩小吗?

日期:2025-07-10

扫描电镜(SEM)的扫描范围是可以放大或缩小的,而且这正是实现“放大倍数”变化的核心原理。

一、什么是扫描范围?

在 SEM 中,扫描范围指的是电子束在样品表面“扫描”的物理面积。

扫描范围大:显示的是样品的大区域,放大倍数低;

扫描范围小:电子束集中扫描一个小区域,放大倍数高。

二、如何调整扫描范围?

1. 通过调整放大倍数来控制

放大倍数越高,实际扫描的面积越小;

例如,从 500 倍放大到 5000 倍时,扫描范围会变成原来的 1/10。

2. 使用软件中的缩放控制

多数 SEM 软件提供“Magnification”或“Zoom”调节功能,滑动条或数值输入;

向上调节放大倍率 = 减小扫描范围;

向下调节放大倍率 = 扩大扫描范围。

3. 使用“缩放区域”功能

有些设备允许用户框选一个区域进行“局部缩放”;

这会把焦点集中到你指定的扫描范围里。

三、为什么要改变扫描范围?

缩小扫描范围(放大):用于观察样品的微观结构,如晶粒、表面粗糙度、裂纹、纳米颗粒等;

扩大扫描范围(缩小):用于定位、整体结构观察、找目标区域。

四、注意事项

放大倍率与分辨率无直接关系

分辨率取决于电子束质量、样品导电性、工作距离等。

扫描范围缩小时图像更容易抖动或模糊

需要更精细的对焦;

控制样品稳定,避免漂移。

倍率越高,扫描范围越小,比例尺越短

这对图像标尺和尺寸测量有重要影响。


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作者:泽攸科技