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扫描电镜（SEM）成像模糊很大可能是焦距没有调好。成像模糊的成因通常可以分为对焦问题、样品问题、参数设置问题和机械或电子系统问题。下面是详细分析：

一、常见原因：焦距没有调好（未聚焦）

表现：

图像整体发虚，边缘轮廓不清；

放大倍率越高越模糊；

对焦时图像波动剧烈。

解决方法：

在低倍时先调节“Z轴”或工作距离（WD），让样品表面接近焦平面；

再用“Focus（聚焦）”旋钮精细调节焦点；

逐步放大倍率，边放大边继续微调焦距；

如有“Auto Focus”功能可尝试自动对焦后微调。

二、样品未置于焦点面上（Z轴高度不当）

SEM 中成像清晰通常要求样品表面位于设定的工作距离（如 10 mm）；

如果样品太高或太低，焦距会偏离，导致图像模糊。

建议：

调整样品高度或平台 Z 轴，确保目标区域位于焦点范围内；

高倍率时尤其要严格控制焦平面。

三、样品移动、漂移或带电

漂移或抖动会使图像产生运动模糊；

带电会导致图像晃动、跳动或模糊；

常发生在非导电样品未喷金处理时。

应对方法：

检查样品固定是否牢固；

提高导电性（喷金、喷碳、导电胶）；

使用低电压成像或低真空模式减轻充电效应。

四、电子束参数设置不当

束斑过大或光斑未收敛，会让图像发虚；

探测器增益过高或对比度过低也会让图像显得模糊不清。

建议：

减小束斑尺寸；

调整聚光器强度（Condenser lens）；

设置合适的亮度、对比度、扫描速度。

五、放大倍率太高、分辨率超限

有些样品本身细节不足，或 SEM 本身分辨率有限；

在超出成像极限时强行放大，会出现“虚假模糊”。

解决：

降低倍率观察；

更换高分辨率模式或高分辨率样品（如喷金后再观察）；