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如何判断扫描电镜图像中的条纹是否为干扰?

日期:2025-04-30

判断扫描电镜(SEM)图像中的条纹是否为干扰(artifact),可以从以下几个方面着手分析:

1. 条纹方向是否与扫描方向一致?

条纹平行于扫描线(横向):很可能是电子束扫描系统的干扰,如振动、电源噪声或扫描偏转不稳定。

条纹垂直于扫描线(纵向):可能是样品充电、样品形貌引起的扫描信号响应异常。

2. 多次拍摄是否复现条纹?

固定位置、多次成像都有条纹:可能是样品本身问题(如表面结构、污染物、刻蚀痕)。

换区域或旋转样品后条纹消失或改变方向:更可能是系统干扰。

3. 样品导电性是否良好?

非导电样品、未镀膜:容易因电荷积累产生条纹、亮带或漂移。

可尝试低压观察或对样品表面进行导电涂层处理(如金、碳镀膜)。

4. 设备状态是否稳定?

检查以下是否存在问题:

电源稳定性(尤其是扫描偏转电源);

真空系统不稳定;

线缆接触不良;

外部电磁干扰(如邻近电机、电焊、空调等设备)。

5. 条纹是否规律重复?

周期性规则条纹:可能是电子枪、偏转系统或信号采集系统受到周期性噪声干扰。

随机不规则条纹:更可能是电子束不稳定、样品静电或环境干扰。

简单判断步骤总结:

换样品区域/旋转样品观察条纹是否变化;

调节扫描速度看看条纹是否增强/减弱;

检查样品导电性是否良好,有无充电效应;

查看系统接地和周边干扰源;

拍摄不同倍率/不同电压图像,比较条纹响应。


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作者:泽攸科技