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判断扫描电镜（SEM）图像是否对焦清晰，可以通过以下几个方面来进行直观和技术性的判断：

1. 边缘锐利程度

清晰图像：样品边缘轮廓分明，线条清楚，无模糊或拖尾。

未对焦图像：边缘模糊、发虚，细节被“糊掉”。

2. 细节结构表现

放大观察微观结构时，如果：

表面颗粒、裂纹、孔洞等结构 层次分明、纹理清晰，说明对焦良好；

若呈现为 糊状、无细节对比，则说明未对焦或景深不足。

3. 图像对比度和亮暗过渡

正常对焦的图像，灰度分布合理，明暗过渡自然；

未对焦时，图像整体偏灰或灰度层次不明显，看起来“雾蒙蒙”的。

4. 对焦点调整敏感度

在调焦过程中，图像变化迅速而明显，说明当前已接近焦点；

若变化缓慢或几乎无变化，可能焦点远离目标平面。

5. 使用标准样品校验

可使用带有微结构的标准样品（如金属网、刻蚀样片）判断焦距是否准确；

对于新手操作员尤为有帮助。

6. 辅助判断方法

聚焦十字线法：部分 SEM 软件会在屏幕中心显示对焦十字线，观察其区域的清晰度可快速判断；

线扫描/边缘函数分析：一些SEM 软件支持通过边缘锐度数值判断是否对焦；

频域分析（FT）：清晰图像在频谱上高频成分丰富，模糊图像频率成分偏低。

7. 多倍率比较

在低倍时大致调焦，再切换到高倍微调焦距；

高倍成像对焦不准时，图像失焦现象更加明显。