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扫描电镜图像采集过程中可以实时调参吗?

日期:2025-07-30

扫描电镜(SEM)图像采集过程中是可以实时调参的,而且这是实际操作中非常重要的一部分。操作员通常会在观察图像的同时,实时调整参数来优化成像效果。

可以实时调整的主要参数包括:

1. 焦距

实时调整以获取清晰图像;

常配合放大倍数同步微调。

2. 像差校正

用于修正电子束的非对称模糊;

实时调整,改善图像清晰度,尤其在高倍率下非常关键。

3. 工作距离

可通过调整样品台高度(Z 轴)或电镜柱的位置进行;

会影响图像清晰度、景深和分辨率,实时微调以找适合焦面。

4. 加速电压

实时切换不同电压(如 1 kV、5 kV、10 kV)观察材料不同深度或抑制带电;

影响图像穿透力、对比度和信号强度。

5. 探测器切换与信号通道选择

实时切换 SE(次级电子)/ BSE(背散射电子)/ EDS 等通道;

比较不同图像效果,选择适合的成像方式。

6. 对比度与亮度

实时调整增强图像可视性;

不影响实际图像结构,但会改善观察体验。

7. 扫描速度或积分模式

快速扫描用于快速定位;

慢速扫描用于最终采图,可实时切换观察图像变化。

8. 放大倍数

可连续调节放大倍数,边观察边调整焦点与像差。

9. 电子束偏转

实时调整图像位置,使目标居中,方便观察或拍照。


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作者:泽攸科技


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