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扫描电镜样品尺寸太大怎么办?

日期:2025-07-25

当扫描电镜(SEM)样品尺寸太大,无法直接放入样品仓或样品台时,可以采取以下几种方法应对,确保安全、成像清晰且设备不受损:

一、判断“太大”的具体问题在哪:

样品仓空间不足

样品太高或太宽,装不进 SEM 的样品室。

样品台行程限制

就算勉强放得下,也可能无法移动、旋转、倾斜观察。

电子枪距离样品过近

导致无法聚焦,甚至撞击探头或喷嘴。

二、解决方法

1. 对样品进行裁切或分段取样

若样品可破坏处理,建议切取其中具有代表性的一小块进行观察;

使用切割机、磨片机等工具,保留感兴趣区域。

2. 调整安装方式

将样品侧放、斜放、倒放,尝试不同角度安装;

使用特制夹具或底座适配非标准尺寸;

部分 SEM 样品台可调节高度,尝试降低平台或使用薄载物盘。

3. 使用断面观察方式

对大型样品切取横截面或表面层,便于分析内部结构或表面涂层。

4. 升级或更换样品舱配件

一些 SEM 提供大样品腔体或定制腔体,可更换腔门或支架适应大型样品;

或联系厂家获取更大尺寸适配件。

5. 使用台式 SEM

某些台式 SEM支持更宽松的样品空间设计;

适合对小区域进行快速观察,适应性较好。

6. 必要时借助非接触成像设备

若样品无法切割、且尺寸超限,可考虑光学显微镜、激光扫描显微镜等作为补充手段。


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作者:泽攸科技