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扫描电镜（SEM）电子束聚焦不良时，图像通常会模糊、不锐利，难以分辨细节。这时应通过以下步骤调整聚焦，确保电子束准确聚焦在样品表面：

一、确认基本条件

在调焦前，先确保以下设置是合理的：

样品表面已接近焦平面

手动或自动调整工作距离，让样品表面大致位于焦点附近；

通常初始调焦建议在中等放大倍数下进行。

放大倍数适中

先在中倍率调焦，再切换高倍率微调；

低倍率下调焦不准确，高倍率下更敏感。

二、具体调焦步骤

1. 使用 焦距调节（Focus）旋钮或按钮

顺时针和逆时针旋转调节焦距；

一般通过电子控制旋钮或软件界面控制，图像会出现由模糊到清晰的过渡；

在高倍率下缓慢调节，直到图像边缘锐利、纹理清晰。

2. 使用 Stigmator（像差校正器）

如果调焦后图像仍呈椭圆状、拉长或不均匀模糊，说明存在“像差”；

调整 X 和 Y 方向的像差校正旋钮；

一边观察图像变化，一边调整，直到图像各向清晰对称。

3. 检查 电子束加速电压

电压太低可能导致穿透力不足、聚焦困难；

适当提高电压可改善聚焦；

注意：电压越高，对非导电样品带电风险也越大。

4. 调整 扫描速度/图像积分

快速扫描模式下图像噪声高、抖动大，不利于观察对焦效果；

建议在慢扫描或积分模式下进行精细聚焦。