扫描电镜的像差主要有哪些类型？

扫描电镜（SEM）的像差主要来自电子光学系统中电子束的聚焦与成像缺陷，常见的类型主要有以下几类：

扫描电镜可以做三维重构吗？

扫描电镜（SEM）是能实现三维重构的，但它本身并不是直接拍 3D 图像的，而是通过一系列手段间接获得三维表面信息。

在扫描电镜（SEM）中，样品充电主要发生在非导电或低导电材料表面，因为入射电子无法及时导走，逐渐积累形成静电电荷，导致图像亮度变化、漂移甚至失真。

扫描电镜（SEM）的样品台常见的运动方式主要包括以下几类，每种运动方式都对应不同的调节需求：

扫描电镜（SEM）能看到的最小结构，取决于显微镜的类型、电子枪性能、探测器类型以及样品制备情况。

有区别，而且在操作方法、样品制备、成像效果等方面差别不小。

非导电样品在扫描电镜（SEM）中直接成像时容易出现电荷积累（charging）问题，导致图像漂移、发亮斑点或模糊。

在扫描电镜（SEM）下，样品充电（charging）主要发生在非导电或低导电材料表面，因为电子束轰击后产生的多余电荷无法及时泄放。