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扫描电镜进行大视场宽范围扫描成像时，会伴随图像几何畸变以及画面内的衬度渐变现象。扫描电镜依靠偏转线圈控制电子束在样品表面逐点扫描，当扫描范围扩大、偏转角度持续增加，电子束不再垂直入射样品表面，离视场中心越远的位置，电子束入射倾角越大，束斑在样品表面的投影会发生拉伸变形，形成枕形或者桶形畸变。同时二次电子的发射方向和样品表面法线强相关，边缘区域电子束斜入射，二次电子的出射方向随之改变，探测器接收到的信号强度持续变化，造成图像从中心向四周逐步变暗或者明暗过渡不均匀。这类效应和样品本身形貌无关，属于扫描偏转系统的固有特性，不同品牌型号扫描电镜的偏转线圈校正算法、物镜设计、动态聚焦补偿能力各不相同，部分机型自带大视场畸变校正模块，可以削弱几何变形，但很难完全消除衬度的平缓渐变。在需要拍摄大面积阵列、整片晶圆、大面积薄膜样品的场景中，这种现象会带来困扰，同一批结构在画面中心和画面边缘呈现出不一样的明暗观感与外形尺寸，直接干扰尺寸测量与形貌对比，很多操作人员会将这种整体渐变误认为是样品表面成分不均匀或者镀膜厚度不一致，给工艺问题溯源带来干扰。