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扫描电镜样品荷电（充电）是一个常见但非常棘手的问题，它会导致图像扭曲、异常亮斑、像散和图像漂移。当电子束轰击到不导电或导电性差的样品时，电荷无法及时导走，就会在表面积累，产生这些现象。

解决荷电问题需要一个系统性的策略，以下是行之有效的解决方法，从简单、常见的操作开始：

一、 样品制备层面的根本解决方法

这是解决荷电问题最直接、有效的方法。

喷镀导电层

做法：在样品表面真空蒸镀一层几纳米到几十纳米厚的导电材料薄膜，如金、金-钯合金或铂。

原理：这层薄膜为积聚的电子提供了一个导电路径，使其能够顺利流入样品台并导入大地。

适用：几乎所有不导电的样品（如生物组织、塑料、陶瓷、高分子材料）。这是常用、可靠的解决方案。

使用导电胶/碳胶

做法：确保样品被牢固地粘贴在导电胶上，并且导电胶与样品桩之间形成连续的、无缝隙的导电通路。

原理：为电荷提供一个向下的泄放通道。

注意：对于粉末或边缘不规则的样品，要确保导电胶能够接触到样品的多个部位。

二、 电镜参数调整层面的技术方法

在不便进行样品喷镀时，可以通过调整电镜参数来缓解荷电。

降低加速电压

做法：将加速电压从较高的值（如15-20 kV）降低到较低的值（如5-10 kV或更低）。

原理：较低的电子能量进入样品的深度较浅，产生的二次电子更多，且电荷更容易通过表面逸散，从而减少净电荷积累。

减小探针电流

做法：在保证图像信噪比的前提下，使用较小的束斑尺寸（对应较小的探针电流）。

原理：减小入射到样品上的电子总量，直接从源头上减少了电荷的注入速率。

使用低真空模式

做法：在样品室中充入少量气体（如水蒸气或氮气）。

原理：这些气体分子会被电子电离，产生的正离子会飞向带负电的样品表面，从而中和掉积累的负电荷。

调整工作距离

做法：适当增加样品与物镜极靴之间的距离。

原理：这可以改变检测器收集信号的效率，有时能改善荷电效应下的图像质量，但效果因设备而异。

三、 成像技巧层面的辅助方法

使用快速扫描模式

做法：切换到快速扫描模式进行观察和拍照。

原理：电子束在每个点上停留的时间非常短，来不及积累大量电荷，从而减轻了图像的扭曲和漂移。