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扫描电镜样品充电怎么判断

日期:2025-12-30

扫描电镜中样品是否发生充电,可以通过图像和成像行为的变化快速判断。

直观的表现是图像不稳定。扫描过程中画面会出现整体漂移、抖动,或局部区域来回晃动,重复扫描同一区域时位置难以重合,这是典型的充电特征。

其次是亮度异常变化。图像会突然变亮、变暗,或出现一片发白、发黑的区域,且亮度随扫描时间不断变化,而不是保持稳定。

第三是条纹和畸变。画面中可能出现弯曲的扫描线、不规则条纹,尤其在高倍率下更明显,重新聚焦也难以消除。

另外,通过参数变化验证也很有效。适当降低加速电压或束流后,如果图像立刻变得稳定、条纹减轻,通常可以确认之前存在充电问题。

总结来说,图像漂移、亮度跳变、扫描条纹明显,且对束流、电压变化高度敏感,基本都可以判断样品发生了充电现象。


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作者:泽攸科技