扫描电镜如何找到想要观察的位置?
日期:2025-11-18
以下是扫描电镜几种核心方法和操作技巧,结合使用可以找到目标:
核心方法:由粗到精,逐级定位
第一步:宏观定位(用眼睛和光学显微镜)
做好样品标记: 这是重要的一步!在制备样品时,就要用特殊标记来圈定你感兴趣的区域。
金刚笔刻划: 在样品台或样品边缘用金刚笔刻划一个箭头或方框,指向目标区域。
导电胶带定位: 粘贴样品时,让导电胶带的一角靠近你的目标。
激光打标/FIB标记: 对于要求高的样品,可以使用聚焦离子束(FIB)或激光在目标周围刻上微米级的定位符号(如十字线)。
利用样品本身特征: 记住目标区域相对于样品边缘、裂痕、明显大颗粒等独特宏观特征的位置。
使用光学导航系统:
现代扫描电镜都配有内置的光学显微镜(导航相机)。
先将样品台移动到你能用肉眼从窗口看到样品大致位置。
然后切换到光学显微镜模式,在电脑屏幕上观察。光学显微镜的视野大(通常是厘米/毫米级),可以轻松找到你之前做的标记。
在光学视野中,将你的目标区域移动到屏幕中央的十字线位置。
第二步:电镜低倍率搜寻
切换到电镜模式,使用低电压和低倍率:
从非常低的加速电压(如5kV)和低倍率(如50x - 200x)开始抽真空并成像。
为什么用低倍率? 因为倍率越低,视野越大,寻找速度越快,而且对未喷金的非导电样品损伤小。
此时,你会在电镜图像中看到你在光学显微镜下定位的那个标记(如刻痕或胶带边缘)。
“地标”导航法:
将标记(如刻痕)当作“地标”。
以这个地标为起点,像看地图一样,沿着你记忆中目标的方向,小幅度、缓慢地移动样品台。
一边移动,一边观察屏幕,寻找下一个明显的“地标”(比如一个特殊形状的大颗粒、一个孔洞等)。
第三步:逐级放大,缩小包围圈
找到大致区域后,逐步提高倍率(例如从200x -> 500x -> 1000x)。
每次提高倍率后,图像视野会变小,你需要再次微调样品台,将你认为的目标置于屏幕中心。
重复这个过程,直到在你的视野中找到想要观察的微观结构。
实用技巧与注意事项
使用低分辨率/快速扫描模式: 在低倍率搜寻时,可以使用较快的扫描速度(较低的扫描分辨率),这样图像刷新快,便于你快速浏览大面积区域。
善用“图片导航”或“地图”功能: 许多现代电镜软件有“Map”或“Navigation”功能。它可以先拍一张低倍率的大视野“地图”,然后你可以在“地图”上直接点击感兴趣的点,电镜会自动将样品台移动到该点进行高倍观察。
控制移动速度: 开始搜寻时,样品台移动速度可以快一些;越接近目标,移动速度要调得越慢,以免“飞”过头。
注意工作距离: 确保你的工作距离(WD)设置正确。工作距离太短或太长都会影响视野和成像质量。
保持耐心: 找位置是一个需要耐心和经验的过程。第一次可能会花很长时间,但随着操作次数的增加,你会越来越熟练。
作者:泽攸科技
