中文
English

扫描电镜图像模糊是一个常见问题，通常可以通过一系列系统性的调整来解决。图像模糊的核心原因主要围绕对焦、像散、电子束状态和样品制备这几个方面。

请您按照以下从简到繁的顺序进行排查和调整：

一、 基础操作：对焦与像散校正

这是最首要且常用的调整步骤。

重新对焦

操作：在中等倍数下，交替使用“粗调”和“细调”聚焦旋钮。

技巧：不要只朝一个方向调。要有意地反复扫过焦点——即先调到图像最模糊，然后向反方向调节，找到图像从模糊变清晰再变模糊的那个“顶点”。这个顶点就是最佳焦点。使用“快速扫描”模式可以帮助您更实时地看到图像变化。

校正像散

何时需要：当您发现无论如何调焦，图像总在某个方向上模糊或有拖尾感，无法在各个方向同时清晰时，极有可能是存在像散。

操作：找到像散校正器。在高倍数下，选择一个特征明显的细节，一边观察图像，一边微调像散校正旋钮。需要耐心地交替调节，直到该细节达到锐利、对称的状态。

二、 检查电子束与仪器条件

如果对焦和像散校正后效果不佳，需检查以下设置。

优化电镜参数

束斑尺寸/探针电流：增大束斑尺寸可以提高束流，让图像信噪比更好，但会降低分辨率。反之，减小束斑尺寸能提高理论分辨率，但信噪比会变差。根据您的样品和观察需求找到一个平衡点。

加速电压：提高加速电压可以使电子束穿透力更强，减少某些样品的充电效应，但可能对敏感样品造成损伤。降低加速电压可以增加表面细节的对比度，但可能导致电子束能量不足，图像模糊。

工作距离：指物镜与样品表面的距离。请参照仪器的推荐值进行设置，工作距离过短或过长都会影响图像的分辨率和景深。

三、 排查样品相关问题

仪器状态良好但图像仍模糊，问题可能出在样品本身。

样品充电效应

现象：图像漂移、出现异常亮线、局部过亮、或者像有“风吹过”一样变形。

解决方案：

对于不导电样品，须进行喷金等导电处理。

降低加速电压或减小束流。

使用电镜的“低真空”模式。

样品污染或制备不良

现象：图像整体有“雾感”，细节不清，或者表面看起来“脏”。

解决方案：确保样品表面清洁、干燥、制备良好。样品表面的油污、粉尘或制备过程中引入的污染物都会严重影响成像质量。