中文
English

扫描电镜中，导电和不导电样品的处理方法有根本性的区别，核心原因在于如何应对 “电荷积累” 问题。

可以这样形象地理解：电子束就像一股连续的水流打在样品上。如果样品是导体，电子（水流）可以顺畅地流走；但如果样品是绝缘体，电子就会像水坑一样积在表面，最终干扰成像。

下面是两者处理方法的主要区别：

不导电样品（如塑料、陶瓷、生物组织、部分岩石等）

核心问题： 电子束扫描时，电子无法导走，会在样品表面积累负电荷。这会导致一系列问题：

图像扭曲、漂移，出现异常的亮线或暗带。

电子束被排斥，导致信号强度剧烈波动。

严重时，甚至可能产生放电现象，损坏样品。

处理方法： 主要思路是给样品表面增加一层导电通路。

喷镀导电膜

做法： 在样品表面真空蒸镀一层非常薄的（几个纳米）导电材料。

常用材料： 金、金-钯合金、铂等。碳也可以，尤其适合需要后续做元素分析的情况。

作用： 这层金属膜就像一个透明的导电网，既能让电子束激发的信号被探测器捕获（增强信号），又能为多余的电子提供逸散的路径，从而消除电荷积累。

采用低真空模式（环境扫描电镜）

做法： 在样品室中充入少量气体（如水蒸气）。

作用： 这些气体分子可以被电离，从而中和掉样品表面积累的负电荷。这是一种“物理”疏导方式。

优点： 无需对样品进行喷镀，可以观察原始状态或含水的样品，是处理不导电样品的一大福音。

导电样品（如大多数金属、石墨等）

核心问题： 电子可以顺利通过样品导入地，一般没有电荷积累问题。

处理方法： 相对简单，主要目标是确保良好的电导通路和样品稳定性。

清洁样品表面： 确保样品表面没有油污、氧化层等污染物，这些会妨碍导电或干扰信号。

使用导电胶： 用含有银颗粒或碳的导电胶将样品牢固地粘在样品桩上。这不仅是为了固定，更重要的是建立一个从样品到样品桩再到仪器主体的连续导电通路。

确保良好接触： 对于有些样品，可能需要用导电胶带或通过压紧的方式，确保样品与样品桩的每一个接触点都导电良好。