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扫描电镜的放大倍数是怎么实现的?

日期:2025-11-14

扫描电镜的放大倍数实现方式与传统光学显微镜有根本性的不同,它并不是通过透镜的组合来“放大”图像。

扫描电镜的放大,本质上是“缩小”电子束在样品表面扫描的范围。

下面来分步解析这个过程:

1. 基本原理:逐点扫描与同步成像

首先,扫描电镜的工作方式就像用手指读文章一样,是逐点扫描的。它产生一个非常纤细的电子束(称为“电子探针”),聚焦在样品表面。

这个电子束会在样品表面一个小矩形区域内,按照从左到右、从上到下的顺序,一个点一个点地进行扫描。

当电子束轰击到样品每一个点时,会激发出各种信号(如二次电子、背散射电子等)。探测器会捕捉这些信号,并转换成电信号。

这个电信号的强度,被同步地传递到计算机屏幕上对应位置的一个像素点的亮度上。

简单来说:样品上被电子束轰击的那个“点”,与屏幕上显示的“像素点”是一一对应的。

2. 放大倍数的关键:改变扫描范围

现在,关键来了:屏幕上图像的大小(像素数)通常是固定的,比如始终是1000x1000像素。

低倍数情况: 如果让电子束在样品上一个 100微米 x 100微米 的大方块里扫描,那么这1000像素的宽度就对应样品的100微米。这时,图像看起来很小,细节不清晰,这就是低倍数。

高倍数情况: 如果控制扫描线圈,让电子束只在样品上一个 1微米 x 1微米 的极小方块里扫描,那么屏幕上同样的1000像素的宽度,现在就只对应样品的1微米。这样,样品上微小的细节就被“撑满”了整个屏幕,图像看起来就非常巨大,这就是高倍数。


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作者:泽攸科技