扫描电镜为什么需要真空环境
日期:2025-09-30
扫描电镜需要在真空环境下工作,主要有以下几个原因:
避免电子散射
电子束在空气中会和空气分子频繁碰撞,发生散射,导致束流发散、能量损失,无法形成清晰的聚焦点。真空环境能减少这种散射,使电子束保持稳定和高能量。
延长电子枪寿命
电子枪(特别是热发射和场发射源)对气氛敏感,空气或水汽会污染、氧化发射源,降低发射效率甚至损坏电子源。真空能有效保护电子枪。
保证信号探测准确
在非真空条件下,空气分子会与样品二次电子、背散射电子等信号相互作用,造成信号衰减或噪声增加。真空环境能保证探测器接收到真实的样品信号。
避免样品表面反应
部分样品在空气中容易氧化、吸湿或被污染。真空环境能降低这些表面反应,保证成像的可靠性。
维持系统清洁
空气中的灰尘或杂质进入电子光学系统,会影响电镜真空度和成像质量。真空环境能减少这种风险。
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作者:泽攸科技
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