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加速电压是扫描电镜（SEM）里非常关键的参数，控制它主要有以下几个原因：

电子束穿透深度与分辨率

高加速电压（10–30 kV）：电子能量高，穿透深度大，激发的信号范围更广，适合观测样品内部结构或厚样品，但会降低表面分辨率。

低加速电压（0.5–5 kV）：电子束与样品的相互作用区域变浅，更突出表面信息，分辨率更高，特别适合观察样品表层精细结构。

电荷效应（Charging Effect）

非导电样品在高电压下容易积累电荷，导致图像发亮、漂移或变形。

使用低电压可以减轻样品充电问题，避免对非导电材料额外镀层的需求。

信号类型与对比度

高电压更容易激发 X 射线信号，有利于能谱分析（EDS/EDX）。

低电压更适合获取 二次电子图像，增强表面形貌对比。

样品损伤

高电压电子束可能导致样品发热、结构损坏或改性，特别是对生物样品、聚合物或低熔点材料。

控制电压可降低束流损伤，延长样品稳定成像时间。