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扫描电镜（SEM）几乎所有成像模式都必须在真空环境下进行，只是 真空度要求的高低会根据样品和成像模式而不同。

为什么需要真空

电子束传输的需要

在大气环境中，电子会与空气分子频繁碰撞，导致电子散射和能量损失。

真空环境减少气体分子密度，保证电子束稳定传播和聚焦，形成细小探针点。

探测信号的需要

样品表面发射出的二次电子、背散射电子等信号在空气中传播距离短。

真空保证这些信号不被吸收或散射，从而清晰到达探测器。

避免放电和污染

高压加速电场在空气中容易产生电弧放电，危及电子枪和探测器。

真空环境避免水汽、油分子等污染沉积在电子枪和透镜上，保持成像质量。

真空类型

高真空模式：大多数金属、半导体样品使用，分辨率高。

低真空或环境 SEM 模式：适合含水、非导电或生物样品，可以在低真空下减少电荷效应。