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扫描电镜电子充电噪声的表现

日期:2025-09-26

在扫描电镜(SEM)中,如果样品是非导电材料或者导电处理不充分,电子束照射会在表面积累电荷,从而产生 电子充电噪声,其表现主要有以下几类:

1. 图像亮暗不均

局部区域过亮或过暗,尤其是绝缘或薄层区域。

在连续扫描中,这些区域亮度会不断变化。

2. 条纹或闪烁

充电区域可能出现水平或垂直条纹,与扫描方向相关。

图像闪烁或跳动,尤其在放大倍数高时更明显。

3. 边缘拖影或模糊

电子束与样品边缘的电荷相互作用,导致边缘信号偏移。

条形或颗粒边缘出现拖影,图像不清晰。

4. 信号随机噪声增强

原本信号较弱的区域可能出现随机亮点或噪点。

类似“雪花”状噪声,影响定量测量。

5. 扫描偏移或图像扭曲

充电会改变电子束路径,导致图像整体或局部形变。

特别在高分辨率下,容易产生扭曲或非线性失真。


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作者:泽攸科技