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扫描电镜（SEM）在成像时，如果样品、仪器或操作条件不合适，就容易产生伪影。这些伪影不是样品真实结构，而是由于成像条件或外界干扰引入的虚假信息。常见类型及消除技巧如下：

1. 充电伪影

表现：图像局部过亮或过暗，边缘拖影，条纹、闪烁。

原因：样品导电性差，电子束在表面积累电荷。

消除技巧：

对非导电样品进行金属或碳镀膜。

使用低加速电压或低束流。

采用环境扫描电镜（ESEM）模式，利用气体中和电荷。

2. 束斑漂移或热漂移伪影

表现：图像拉伸、漂移，出现条带或模糊。

原因：电子束不稳定、样品受热膨胀或载物台移动不稳。

消除技巧：

等待样品与腔体达到热平衡。

降低电子束电流以减少样品加热。

检查并稳定样品台的机械与真空系统。

3. 噪声伪影

表现：图像颗粒感强，出现随机斑点。

原因：信号电子数不足，探测器噪声或外部电磁干扰。

消除技巧：

增加电子束电流或延长扫描时间。

使用积分或帧累积方式提高信噪比。

避免在强电磁干扰环境下操作。

4. 真空污染伪影

表现：图像逐渐变暗、模糊，局部出现碳污染层。

原因：腔体残余有机物或样品本身释放气体，被电子束分解沉积。

消除技巧：

预先清洗样品，避免油脂或胶水残留。

确保真空腔体清洁，定期维护真空泵。

使用冷阱捕集污染物。

5. 辐照损伤伪影

表现：样品形貌发生改变，出现塌陷、孔洞或形变。

原因：高能电子束对聚合物、半导体或生物样品造成破坏。

消除技巧：

使用低加速电压、低束流。

避免长时间照射同一区域。

对敏感样品采用冷冻或低温条件。

6. 扫描相关伪影

表现：图像出现周期性条纹、拉斜或扫描方向不一致。

原因：扫描线同步错误，电源不稳，或扫描速度设置不当。

消除技巧：

调整扫描速率，使用慢扫描提高稳定性。

确认电子学系统的稳定性和屏蔽效果。