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在扫描电镜（SEM）中，样品充电主要发生在非导电或低导电材料表面，因为入射电子无法及时导走，逐渐积累形成静电电荷，导致图像亮度变化、漂移甚至失真。要避免这种现象，可以从样品制备、成像条件和设备设置三个方面着手：

1. 样品制备阶段

导电镀膜：

在样品表面均匀喷镀一层导电材料（如金、金钯合金、碳），厚度一般在 5–20 nm，既能导电又不会显著遮挡细节。

导电粘接：

用导电胶带、导电银浆将样品固定在样品台上，并保证镀膜层与样品台接触良好，形成导电通路。

去除绝缘杂质：

避免样品表面有油污、灰尘、胶水等非导电物质覆盖。

2. 成像条件优化

降低加速电压：

充电现象在高电压下更明显，适当降低加速电压（如从 15 kV 降到 3–5 kV）可减少电子注入量。

降低束流：

减小束流，减少单位时间进入样品的电子数量。

缩短扫描时间：

尽量避免长时间在同一区域停留，减少电荷累积。

3. 设备功能辅助

使用低真空模式（Variable Pressure SEM / Environmental SEM）：

在样品腔中引入少量气体（如水蒸气），电子束会电离气体分子，形成的离子可中和样品表面电荷。

电子/离子中和器：

部分扫描电镜配有中和装置，通过低能电子或离子流消除样品表面电荷。