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扫描电镜（SEM）样品表面太粗糙会明显影响成像质量。以下是其具体影响及原因：

一、成像分辨率下降

粗糙表面会导致电子束入射角度变化剧烈，造成：

二次电子信号发散不均，图像模糊；

边缘增强过度，失真严重；

难以分辨细微结构或微小缺陷。

二、聚焦困难

由于样品高度起伏不平，电子束很难在整块区域内统一聚焦，造成：

图像部分清晰、部分模糊；

放大倍率越高，焦深越浅，问题越明显。

三、电荷积累严重（非导体）

粗糙表面增加绝缘区域表面积，容易出现：

局部带电不均；

图像漂移、闪烁、出现亮斑或黑影；

必须喷镀导电层或降低加速电压缓解。

四、能谱分析不准

进行能谱（EDS）分析时，粗糙表面会：

改变电子束入射角和出射角；

引起X 射线信号偏移或误差增加；

影响元素分布图（Mapping）精度。

五、样品遮挡与阴影效应

表面高度差较大时，电子束会被凸起部分遮挡：

导致深坑、裂纹底部无法成像；

出现“阴影区”，图像对比不均匀。