中文
English

在扫描电镜（SEM）中，能谱图（EDS 或 EDX 图）显示的是样品中不同元素对入射电子束响应所产生的特征 X 射线的强度与能量的关系。通过分析这些特征 X 射线的能量位置（峰的位置），就可以判断样品中含有哪些元素。

以下是具体的判断方法：

第一步：观察能谱图横轴和纵轴

横轴是能量（keV），表示 X 射线的能量；

纵轴是强度（counts），表示每个能量下探测到的 X 射线数量。

第二步：识别特征峰位置

每种元素在特定能量处有其特征 X 射线峰，称为“K、L、M 系列峰”。

例如：

碳（C）Kα 峰：约 0.28 keV

氧（O）Kα 峰：约 0.52 keV

铁（Fe）Kα 峰：约 6.40 keV，Kβ：约 7.06 keV

铜（Cu）Kα 峰：约 8.04 keV

金（Au）Mα 峰：约 2.12 keV

能谱图中出现的每一个清晰峰位，通常就对应一个特定元素的存在。

第三步：使用软件自动匹配元素

SEM 的能谱分析软件通常带有自动元素识别功能：

系统会根据峰位位置自动列出可能对应的元素；

用户可以手动确认或修改识别结果；

软件还可提供每种元素的相对含量（半定量分析）。

第四步：注意干扰峰和伪峰

有时两个元素的峰位很近，可能会重叠或干扰，比如：

硅（Si）Kα：1.74 keV 与金（Au）Mα：2.12 keV 较近；

锰（Mn）Kα 和铁（Fe）Kβ 也容易混淆。

此时应结合样品背景、材料信息或使用标准样本进行校对。