中文
English

扫描电镜在扫描过程中出现图像偏移，一般可以从几个典型原因去判断。

常见的是样品问题。如果样品没有固定牢，或者底部接触不好，在高倍下就会表现为图像慢慢“漂走”。另外非导电样品容易产生充电效应，也会导致画面跳动或漂移，这种情况通常需要喷金、降低加速电压，或者换低真空模式。

还有一种很典型的是热漂移。刚换样或者刚开机时，样品台和镜筒温度没有稳定，图像会缓慢朝一个方向移动。这种情况不用急着调参数，放置一段时间、先低倍扫描预热，通常会明显改善。

如果图像是抖动或者不规则跳动，要考虑外界干扰。机械振动（比如脚步、设备运转）和电磁干扰（电源不稳、附近有电机）都会引起这种问题。高倍下尤其明显，可以通过降低倍率对比判断。

扫描系统本身也可能有影响，比如扫描信号不稳定或倍率过高，会把微小扰动放大成明显偏移。可以尝试降低扫描速度、使用帧积分，或者简单重启扫描系统测试。

另外，真空状态不好或者腔体污染，也会让图像在扫描过程中逐渐变化甚至偏移，这种情况通常伴随信号不稳定。