扫描电镜大视场成像下的畸变与衬度渐变

扫描电镜进行大视场宽范围扫描成像时，会伴随图像几何畸变以及画面内的衬度渐变现象。

扫描电镜低加速电压下二次电子信号信噪比衰减

扫描电镜采用低加速电压成像模式，是观测浅表层形貌、减少衬底内部信号干扰的常用手段，但该工况下极易出现二次电子信号信噪比衰减的问题。

电子束光刻机长时间直写过程中的版图数据时序与束闸开关时序失配，会带来图形端点截断或者拖尾的现象。

电子束光刻中化学放大胶的曝光后酸扩散现象，是制约高密度纳米图形边界锐利度的一类固有物理化学行为。

扫描电镜在高倍连续观测导热性能偏弱的样品时，电子束持续辐照带来的局部热量累积会引发图像缓慢漂移、轮廓形变，适合高分子薄膜、绝缘有机样品、多孔软质材料这类热敏感试样的观测场景。

扫描电镜依靠高能电子与样品相互作用产生背散射电子信号来获取成分衬度图像，在多相组分、金属合金、复合薄膜样品观测时，经常出现画面明暗分布紊乱、同材质区域灰度不一致的现象，会干扰材料组分判断与元素分布定性分析。

电子束光刻机在大束流高速曝光工况下，电子之间相互排斥造成束斑弥散，是高电流、高吞吐量工艺中容易被忽略的误差来源，高密度阵列、精细线条工艺对该效应尤为敏感。

电子束光刻机在大视场矢量扫描曝光模式下，扫描场四角区域图形容易出现不对称拉伸、线条歪斜、线宽偏差，是电子光学透镜像差与扫描偏转校正不足叠加引发的典型工艺问题，直接影响大面积光栅、阵列器件的套刻精度与图形一致性。