扫描电镜信号与样品相互作用原理

扫描电镜（SEM）的成像依赖于电子束与样品相互作用时产生的多种信号，这些信号携带了样品的形貌、成分和结构等信息。

扫描电镜信号噪声来源与抑制方法

在扫描电镜（SEM）成像中，信号噪声是导致图像模糊、对比度下降甚至细节丢失的重要原因。

在扫描电子显微镜（SEM）中，伪影是指图像中出现的非样品真实结构的信号或形态，它们会误导观察者，通常来源于样品制备、设备本身或成像条件。

扫描电镜（SEM）的放大倍数对图像质量有直接而明显的影响，它不仅决定了图像呈现的细节程度，也会影响亮度、清晰度、景深等成像质量指标。

在扫描电镜（SEM）观察中，如果样品导电性不足，会造成电荷积累（charging effect），从而导致图像模糊、漂移或亮度不均。

样品表面不平整是导致扫描电镜（SEM）图像模糊、局部失焦、对比度不均的重要原因之一。

表面粗糙度对扫描电镜（SEM）分辨率的影响主要体现在电子信号的产生、收集以及束斑聚焦等方面。

在扫描电镜（SEM）观察中，样品表面的导电性对图像分辨率和成像质量有很大影响，主要体现在以下几个方面。