中文
English

扫描电镜成像过程中突然失焦通常不是“镜头坏了”，而是和样品、电荷、真空或机械因素有关。主要原因如下：

样品高度差或表面起伏大，扫描区域内局部离电子束焦点太远，突然出现模糊

样品未导电或局部充电，电子束轰击时产生电荷堆积，会使电子束偏转，瞬间失焦或条纹

样品松动或台面振动，纳米级位移就能让焦点偏离，特别是长时间扫描

真空波动或冷却系统异常，部分仪器对压力和温度敏感，焦点会受影响

自动聚焦或 stigmator 调节失灵，有些 SEM 会在扫描中自动微调焦点，错误操作可能导致瞬间失焦

解决方法通常是：保持样品平整和固定、保证导电性、降低扫描速度或增加景深、手动重新调焦或分区拍摄。