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扫描电镜图像出现中间清晰、边缘模糊，是比较常见的现象，通常与电子光学条件和样品状态有关，而不是单一故障。

常见原因是工作距离或对焦位置不合适。SEM 对焦本质上是在某一个平面达到适合清晰度，如果样品表面不完全平整，中间高度合适而边缘高度有差异，就会出现中心清楚、边缘失焦的情况。

像散校正不充分也会导致这种现象。像散在视场中心往往不明显，但在边缘会被放大，表现为边缘方向性模糊，而中心仍然较清晰。

再就是电子束会聚条件的问题。束斑在视场中心为宜，扫描到边缘时，如果会聚角偏大或束斑尺寸偏大，分辨率会下降，边缘细节自然变差。这在高倍率、大视场时尤其明显。

样品台倾斜或安装不平也是常见原因。样品整体有倾角时，对焦平面只能覆盖一部分区域，通常是中间或某一侧清晰，其余区域逐渐模糊。

另外，扫描线性和像场畸变也会造成边缘清晰度下降，虽然不是真正失焦，但视觉效果很像模糊，尤其在低端或老设备上更明显。

改善方法上，可以在目标放大倍数下重新精确对焦，并认真做像散校正。检查样品是否放平，必要时调整样品台或重新装样。适当减小工作距离、降低放大倍数，或缩小扫描视场，也能明显改善边缘清晰度。

如果能说明是在什么放大倍数、工作距离大概多少、样品是否倾斜，我可以更准确地判断是哪一种原因占主导。