中文
English

在扫描电镜里找样品位置，一般按由粗到细的思路来操作，会快很多，也不容易撞样。

先用低倍、低放大。把放大倍数降低，视场变大，这一步主要是“找得到”，不追求清晰。若是完全看不到样品，可以先确认样品是否真的在电子束可达范围内，比如是否装偏、装反或高度过低。

再用样品台移动定位。通过 X、Y 方向慢慢移动样品台，优先找明显结构，比如边缘、孔、台阶或污染点，这些在低倍下容易识别。不要一上来就高倍，否则很容易迷路。

调整工作距离和 Z 高度。如果画面一片灰或完全发虚，可能样品高度不合适。先调 Z 让样品进入合适的工作距离范围，再重新对焦，通常能立刻看到结构轮廓。

利用二次电子信号。找位置阶段优先用二次电子像，对形貌敏感，边缘对比明显，比背散射更容易定位。

逐步放大而不是跳放大。找到目标区域后，放大倍率要一步一步加，每放大一次就微调焦距和像散校正，避免一口气放到很高倍导致目标跑出视野。

必要时重新回零。如果完全找不到，可以把样品台回到机械零位或记录过的位置，从已知参考点重新开始，比盲目移动效率高。