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扫描电镜（SEM）出现扫描线不直，通常是偏差或畸变问题，可能来源于电子光学系统、扫描控制或机械因素。要解决，需要针对不同原因进行调整。下面是比较系统的思路：

1. 检查扫描线校正

SEM 通常有 stigmator（像差校正器）和扫描校正功能。

如果 X/Y 扫描放大器不平衡，会导致线条弯曲。

使用内置的 scan calibration / raster correction 对 X/Y 扫描线性进行校正。

2. 调整扫描速度

高速扫描容易因为控制带宽或信号延迟出现弯曲或 S 形线条。

先降低扫描速度，观察线条是否变直。

如果慢速可以直，说明问题主要是控制系统响应不足。

3. 检查电子束偏转线性

扫描线不直可能是 电子束偏转非线性。

调整 SEM 的 beam alignment / deflection linearity，确保扫描区中心与边缘线性一致。

4. 检查机械和样品因素

样品台倾斜或松动会让扫描线呈倾斜或弯曲。

样品表面不平整也会让高倍率下线条看起来弯曲。

保证台面稳固，样品平整。

5. 像差和电子光学因素

透镜不对中或像差未校正，尤其在高倍率下，会放大扫描线畸变。

调整 focus / stigmator / alignment 使像清晰、扫描线直。

6. 检查扫描信号

如果扫描信号有抖动或噪声，会导致线条不直。

检查扫描放大器、驱动电源和接地，避免干扰。