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扫描电镜中的束斑大小指的是电子束在样品表面形成的实际“光斑”直径，也就是电子束聚焦后的尺寸。它直接决定图像的分辨率和信号采集特性。

以下是束斑大小的核心要点：

束斑大小是什么

它是电子束在样品表面上的有效直径。数值越小，电子束越“尖”，可以分辨更细的结构；数值越大，信号更强但分辨率会下降。

影响束斑大小的主要因素

1 电子光学系统

包括电子枪类型，物镜孔径，透镜的放大倍率等。

2 加速电压

高电压更容易获得小束斑，但也会增加样品穿透，降低表面信息比重。

3 孔径大小

孔径大，束流大，信号强，但束斑变大；孔径小，束流小但束斑更细。

4 工作距离

工作距离越短，通常越容易获得小束斑。

束斑大小与成像的关系

分辨率

束斑越小，分辨率越高。

信噪比

束斑越大，束流越大，信号更强，成像更亮，但分辨率下降。

适用场景

小束斑适合高分辨观测

大束斑适合弱信号样品、能谱分析、粗表面等。