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扫描电镜如何判断是否充电

日期:2025-11-28

判断扫描电镜样品是否发生充电,可以从图像特征、操作反应和信号变化几个方面观察。充电是非导电样品常见的问题之一,表现通常很明显,下面给出简单易判断的方法,内容带标点、不用符号、易理解。

第一,看图像是否出现异常亮斑或局部过亮。若表面某些区域突然变得特别亮,且亮度不随参数调节而正常变化,这通常是电子积聚造成的充电迹象。

第二,看图像是否产生漂移。当样品充电后,电子束受到静电场干扰,会导致视野不断移动或缓慢飘走。若图像难以稳定停在同一区域,通常说明充电正在发生。

第三,看图像是否出现局部黑斑或反差异常。部分区域可能突然变暗或完全看不见细节,这是因为电子束被偏转或信号被屏蔽导致。

第四,观察是否出现边缘模糊或细节突然消失。充电会使电子束不能准确落点,从而导致边缘变虚或精细结构无法成像。

第五,注意扫描时是否出现闪烁。图像明暗不停跳动、闪烁或抖动,往往也是充电引起的电子束不稳定。

第六,调低加速电压看情况是否改善。如果降低电压后图像突然稳定下来,基本可以确定之前是充电影响。

第七,检查工作距离变化的影响。如果在不同工作距离下图像失真程度有明显变化,也多与充电有关。


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作者:泽攸科技