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在扫描电镜（SEM）中，“暗场成像”指通过只接收特定角度或特定衍射条件下的电子信号来形成图像的方法。与明场成像相比，暗场图像通常背景较暗，而满足特定散射条件的区域变亮。

一、背散射暗场成像

这是 SEM 中常见的暗场方式。

原理：

背散射电子会向不同角度散射。暗场探测方式只收集高角度散射的电子，而低角度信号被排除。

特点：

高原子序数区域更亮。

对成分变化和晶体取向非常敏感。

背景较暗，对比度更高。

常见用途：

区分合金相。

查看成分变化。

观察晶粒取向差异。

二、衍射暗场成像

部分 SEM（带 STEM 或 EBSD 功能）可以使用衍射暗场。

原理：

选择晶体某一个衍射斑点对应的电子，只有满足该衍射条件的区域会变亮。

用途：

观察晶界结构。

识别孪晶或相变区域。

分析晶体取向分布。

说明：

这种方式更接近透射电镜的暗场成像方法，不是所有 SEM 都具备。

暗场成像的优点

能强化成分或结构差异。

背景更暗，信号更突出。

对晶体取向特别敏感。

暗场成像适合的情况

样品成分差异不明显，需要提高对比度。

想突出局部晶体取向或相结构。

在复合材料、金属、陶瓷分析中需要增强对比度。