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判断扫描电镜是否需要更换光阑，是日常维护中一项重要工作。光阑污染或损坏会直接导致图像质量下降。

可以通过观察图像和束流的变化来判断，以下是几个关键的征兆：

核心判断依据：图像质量的恶化

图像分辨率下降，出现“虚影”或“拖尾”

这是最典型的症状。您会发现，无论怎样精细调节像散校正，图像都无法在各个方向上同时清晰。总感觉图像有一层“虚影”，或者细节有方向性的拖尾。调好一个方向，另一个方向就变模糊。这通常是因为污染物使电子束变成了非圆对称的畸形束斑。

图像噪点增多，信噪比变差

污染的光阑会像一个小“透镜”一样散射电子，导致有效到达样品的束流不稳定且效率降低。为了获得足够的亮度，您不得不增大束斑尺寸（探针电流），但这又会牺牲分辨率，导致图像“脏”且不清晰。

束流不稳定

在相同的电镜参数下（特别是相同的光阑尺寸选择），如果您监测到的束流值波动变大，或者明显低于正常值，说明光阑孔可能被部分堵塞，阻碍了电子束的稳定通过。

系统性排查流程

当出现上述现象时，请按以下步骤排查，以确认问题确实出在光阑上：

执行标准的像散校正流程

在一個中高倍率下，选择一个特征明显的样品细节。

反复仔细调节像散校正器。如果像散无法被消除，或者校正起来非常困难、反复无常，这是光阑污染的一个强有力证据。

清洁和检查样品

首先确保问题不是由样品污染（例如，样品在电子束下发气、积碳）引起的。更换一个已知清洁、导电性好的标准样品（如镀金的硅片）进行测试。如果问题依旧，则基本排除了样品因素。

对比不同光阑尺寸

切换到不同的光阑尺寸（例如，从第三档切换到第四档）进行观察。

如果更换光阑后，图像质量显著改善，则说明之前使用的那个光阑很可能已经污染。

如果所有光阑档位都表现出同样的问题，那么问题可能出在电子枪或其他部件上，但严重污染的光阑系统是常见原因之一。

其他辅助判断迹象

设备使用历史和周期：如果电镜长时间在较差真空的环境下工作，或已经使用了很长时间而未更换光阑，那么光阑污染的概率会大大增加。

更换灯丝后问题依旧：如果您刚刚更换了新的电子枪灯丝，但图像质量仍未得到预期中的提升，那么应该怀疑光阑是否才是限制因素。