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扫描电镜图像对比度不足的原因分析

日期:2025-10-11

扫描电镜图像对比度不足通常由以下几方面原因造成:

加速电压过高或过低:加速电压过高时电子穿透样品过深,信号差异减小;过低时信号噪声比上升,导致图像灰度层次不明显。

样品导电性差:电荷积聚会使二次电子发射不均匀,降低明暗反差。

探测器信号设置不当:二次电子与背散射电子探测器的增益或偏置设置不合理,会影响亮度和对比度。

束流电流或扫描速度不合适:束流过大易产生饱和,过小则信号太弱,扫描过快信号平均不足。

样品表面形貌或成分差异较小:当样品区域间的电子散射特性相似时,自然对比度较低。

此外,不同品牌和型号的扫描电镜在电子光学系统、探测器灵敏度及图像处理算法上各有差异,因此在同样样品和条件下,获得的对比度可能不同。熟悉所使用设备的特性,合理调整参数,是提升图像对比度的关键。


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作者:泽攸科技