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判断扫描电镜（SEM）的聚焦是否正确，可以从以下几个方面进行观察与验证：

图像清晰度：

聚焦正确时，图像边缘锐利、细节分明、颗粒或表面纹理清晰可辨；若图像模糊、边缘拖影或颗粒融合，说明焦点偏离。

放大倍率变化时的稳定性：

在低倍下初步聚焦后，逐步放大倍率。如果聚焦正确，放大后图像仍保持清晰；若放大后突然变模糊，则说明焦点未对准样品表面。

焦距调节（Focus 或 Z 轴调整）：

在调焦过程中，图像应经历由模糊—清晰—再模糊的变化过程。若变化不明显或找不到清晰点，可能存在样品倾斜或电子束稳定性问题。

像移现象检查：

聚焦时若图像在屏幕上明显漂移，通常说明样品未处于电子束的焦平面上，需调整工作距离（WD）或样品高度。

辅助功能检查：

某些SEM配有“自动聚焦”（Auto Focus）功能，可快速优化焦点。自动聚焦后仍模糊，需检查样品导电性、表面清洁度或是否存在漂移。

正确聚焦的关键是：在样品导电性良好、束流稳定、扫描速度适中的条件下，找到图像最清晰的焦点位置。