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在扫描电镜（SEM）中，噪声主要来源于探测器信号的统计波动（电子数有限）和电子学噪声。提高电子束电流是降低噪声的一种常用方法，但要注意操作方法和潜在副作用。下面详细说明：

一、原理

SEM 图像的亮度由探测到的二次电子或背散射电子数量决定。

噪声呈统计特性，服从泊松分布，即电子数越少，信号波动越大。

提高电子束电流意味着单位时间内撞击样品的电子数增加，信号增大，相对噪声（噪声与信号比）降低，图像更平滑。

二、提高电子束电流的方法

调节束流

在 SEM 控制面板中增加光阑开口或加大发射电流。

保证加大束流后不会超过样品耐受范围。

延长积分时间或扫描速度。

单点或单像素的采集时间增加，累计电子数增多。

等效于增加信号，降低噪声。

使用低加速电压时的高束流模式。

对非敏感样品可增加束流，但要注意低电压下束斑扩散可能导致分辨率下降。