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扫描电镜样品台能旋转和倾斜吗?

日期:2025-08-29

大多数扫描电镜(SEM)的样品台都具备旋转和倾斜功能,目的是为了更灵活地观察样品不同角度的结构。具体情况如下:

1. 样品台旋转

水平旋转(旋转轴):样品可以绕垂直轴旋转,方便扫描整个样品表面而无需移动样品。

用途:对比不同区域、拍摄全景、实现多视角成像。

旋转范围:一般 360° 连续旋转,部分 SEM 有限制角度或步进旋转。

2. 样品台倾斜(倾角/俯仰角)

倾斜轴:样品可以绕水平轴倾斜一定角度。

用途:

观察样品侧面结构或微小凹凸。

进行金相分析或断面观察。

优化二次电子(SE)或背散射电子(BSE)信号对比。

倾斜范围:通常 ±30° 到 ±70°,一些型号可达 ±90°。

3. 注意事项

倾斜后样品高度会改变,需要重新调整工作距离(WD) 和 聚焦。

倾斜角度过大可能导致 样品碰到腔壁或探头,要小心操作。

重量或形状不规则的样品倾斜时要保证固定稳固,避免脱落。


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作者:泽攸科技