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扫描电镜（SEM）能看到的最小结构，取决于它的分辨率，而分辨率又受电子枪类型、加速电压、样品制备和探测模式等因素影响。

一般来说：

传统钨灯丝热发射 SEM：分辨率大约在 3–10 纳米 左右，通常能清楚看到几十纳米大小的颗粒或特征。

场发射扫描电镜（FE-SEM）：分辨率可达 1 纳米甚至更好，能清楚观察纳米颗粒、薄膜表面、纳米线等精细结构。

超高分辨 SEM（比如冷场发射 SEM）：在优化条件下，分辨率可以达到 亚纳米级（0.5 nm 左右），接近透射电镜（TEM）的效果。

需要注意的是，即使分辨率很高，是否能真正看清细节还取决于：

样品表面的导电性与平整度；

是否存在充电效应或表面污染；

成像时的加速电压与工作距离；

选择的探测器（SE、BSE 等）。