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扫描电镜（SEM）的像差主要来自电子光学系统中电子束的聚焦与成像缺陷，常见的类型主要有以下几类：

1. 球差

成因：电子透镜对不同离轴距离的电子聚焦能力不同，离轴较远的电子会比近轴电子聚焦在更近的位置。

表现：图像边缘模糊、分辨率下降，尤其在高放大倍数下明显。

解决方法：减小物镜孔径、优化聚焦、使用像差校正器。

2. 色差

成因：电子束能量分布不均（加速电压波动、样品二次发射能量差异等）导致聚焦点不同。

表现：图像整体模糊，细节不清晰。

解决方法：稳定加速电压、使用能量单色化器、降低束流能量扩展。

3. 失真

成因：扫描线性度不佳或透镜磁场分布不均。

表现：图像几何形状被拉伸或压缩，比如方形变成长方形。

解决方法：校准扫描系统、优化扫描速度。

4. 像散

成因：透镜磁场在不同方向上聚焦能力不同（可能由透镜缺陷、污染、样品磁性等引起）。

表现：图像在一个方向清晰，垂直方向模糊。

解决方法：用消像散器调节，使两个方向的聚焦一致。

5. 扫描像差

成因：扫描线偏移、时间延迟、电子束稳定性差。

表现：图像有波纹、拖影或边缘畸变。

解决方法：调整扫描参数、稳定电子枪和电源、减少外部干扰。

6. 衍射限制

成因：电子波的波长效应，即使消除了几何像差，波动性也会限制分辨率。

表现：在极高分辨率成像下，细节受限。

解决方法：提高加速电压（缩短电子波长），但要兼顾样品损伤和充电效应。