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扫描电镜样品成像时边缘特别亮的原因

日期:2025-07-04

在扫描电镜(SEM)成像时,如果样品边缘特别亮,这是一个非常常见的现象,通常由以下几个主要原因造成:

1. 边缘效应(Edge Effect)——二次电子增强发射

在 SEM 中使用二次电子(Secondary Electrons, SE)成像时:

边缘、尖角、表面突起等区域,因为曲率较大或暴露面较多;

会比平坦区域发射出更多的二次电子;

这些增强的电子信号被探测器接收,就形成了“特别亮”的成像效果。

这是一种物理现象,不是图像错误,而是有助于增强样品细节对比的机制。

2. 样品带电效应(Charging)也可能导致边缘亮

对于不导电或导电性差的样品(如聚合物、陶瓷、无喷镀处理的材料):

边缘区域更容易积聚电荷;

导致电子束局部偏转,产生异常电子发射;

成像时在边缘或角落位置出现异常发亮、发白、甚至闪烁。

解决方法包括:

喷金或喷碳提高导电性;

降低电子束电流(beam current);

使用低电压成像;

使用环境电镜(ESEM)减少带电。

3. 探测器位置与样品几何关系影响亮度

如果二次电子探测器位于样品上方某一侧;

那么倾斜或边缘面朝向探测器的区域就会更亮;

背离探测器的一侧则可能变暗。

4. 图像对比度与增益设置过高

有时图像信号放大设置(Gain)过高,也会把正常的边缘增强放大得过于明显;

可通过调整图像对比度(Contrast)或亮度(Brightness)来缓解。


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作者:泽攸科技


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