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扫描电镜（SEM）样品成像过程中被“烧焦”，一般指样品在电子束照射下发生局部碳化、变色、融化或形貌破坏，这是一种不可逆的损伤现象，尤其在非导电或有机样品中较常见。出现这种情况，通常是电子束参数设置不当或样品准备不合理导致的。下面是处理与预防的建议：

一、样品被烧焦后的应对方法

立即停止扫描

如果发现样品变色、发黑、起泡、局部凹陷或表面变形，应立刻停止电子束照射，退出高倍率成像。

降低电子束加速电压和束流

改用低电压模式（如从 20 kV 降到 5 kV 或更低）；

减小束斑尺寸或切换至小束流档位。

更换或重新制备样品

被烧焦的区域通常不可逆，建议重新准备样品并采取防护措施。

观察是否有带电现象

静电聚集会加重热效应，引发烧焦，需喷金或提高导电性。

二、避免样品烧焦的预防措施

1. 控制电子束参数

使用较低的加速电压（<5 kV）和小束流；

降低放大倍率时的照射时间；

避免长时间静止照射一个点（特别是焦距调节时）；

开启扫描图像“动态扫描”或“快速扫描”模式减少暴露时间。

2. 处理非导电样品（如生物、有机、聚合物）

喷金、喷碳或加涂导电胶（厚度控制在几纳米至几十纳米）；

若无法金属喷镀，可选择低真空模式（如环境电镜 ESEM）成像；

用导电碳胶将样品固定在样品台，保证良好接地。

3. 优化样品形状与尺寸

薄层样品（如截面）更易被击穿，应缩短照射时间；

凸起、悬空、尖锐结构更易集中电子束热量，要避免长时间聚焦。

4. 使用冷却样品台（如低温样品台）

对热敏感或生物样品，可使用冷冻 SEM 台，减缓热损伤；

或间歇式扫描：扫描–暂停–扫描，降低累计热量。