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在扫描电镜（SEM）中定位同一位置进行多次观察，是实现重复成像、前后对比、时间演化研究的重要操作。为了确保能准确返回到相同区域，可通过以下几个方法来实现：

1. 使用样品台的坐标记录功能

大多数 SEM 配备了带有 X、Y、Z、倾斜角（T）、旋转角（R）的电动样品台，可以精确记录并返回指定位置。

第一次观察时，记录当前样品台的 X、Y、Z、T、R 坐标值；

再次观察时，将样品台移动回相同坐标；

精度较高，适用于大多数重复定位需求。

2. 在样品上制作标记

如果样品表面特征不明显，可人工添加辅助定位标记：

用针尖在样品或支撑基片上刻划微小十字、线条、凹点等；

使用光刻、微球、金属颗粒等人为布点；

标记应在目标区域附近但不遮挡目标，以便导航；

借助低倍图像先找到标记，再逐步缩小至目标区域。

3. 拍摄导航图并建立坐标参照

首先用较低倍率（如50×或100×）拍摄整块样品或较大区域的图像；

在图中标注你感兴趣的位置；

之后再通过这些导航图，结合台面移动、方向调整，找回该点；

特别适用于手动样品台或无电控记忆功能的系统。

4. 使用软件提供的“记忆点”功能

部分扫描电镜带有“Stage Memory”或“Navigator”等模块：

可在软件中添加多个“收藏点”或“感兴趣区域”（ROI）；

一键切换至指定观察位置；

特别适用于大面积样品、多区域对比观察等场景。

5. 利用特征结构定位

如果样品表面有天然形貌（如晶体边界、颗粒分布、划痕等）：

选择靠近目标区域的独特形貌作为参照；

每次观察前从该结构出发，用固定路径移动；

适用于生物样品、材料组织等自然结构明显的样品。

6. 固定样品安装方式

保证每次安装样品时方向一致（如胶带对齐、标记箭头等）；

若使用样品架（stub），尽量使用带有方向标记的专用样品座；

这样能减少旋转误差，提升重复定位的效率。