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扫描电镜如何避免因样品偏移造成图像漂移?

日期:2025-06-12

在扫描电镜(SEM)观察中,如果图像出现漂移、跳动或位置不稳定,可能是由于样品偏移或不稳定造成的。以下是问题原因分析和避免建议:

一、为什么样品偏移会导致图像漂移?

扫描电镜的成像是通过电子束在样品表面逐点扫描得到的。若样品在成像过程中发生轻微移动或震动,会直接导致图像模糊、重影、条纹或漂移。常见原因包括:

样品未固定牢靠;

样品台未锁紧;

真空泵运行或室内振动引起微小机械扰动;

样品因电子束照射发生热膨胀或形变;

样品装夹不平整或倾斜。

二、如何避免样品偏移导致图像漂移?

1. 固定样品牢固

使用导电碳胶、碳带或银胶将样品牢牢粘贴在样品台上;

尽量将样品贴平、贴紧,避免在倾斜角度大或边缘悬空处装夹;

粘贴时注意样品重心,避免不平衡造成偏转。

2. 检查并锁紧样品台

安装样品后,确保样品台各轴完全锁定,特别是倾斜和旋转角;

有些 SEM 样品台有微动或步进结构,确保没有“游隙”。

3. 降低室内振动干扰

避免在样品室附近走动或敲击;

确保 SEM 安装在减震平台或稳定地面上;

避免靠近空调风口或电机设备。

4. 等样品“稳定”后再成像

样品刚进入高真空时会因气压、温度变化略有应力;

等待 5–15 分钟再进行高倍率成像,避免初期不稳定。

5. 避免样品因电子束照射变形

对热敏感样品(如高分子、生物、纳米膜等)应使用低电压、低束流;

减少单点长时间曝光,避免热积累。

6. 使用低倍率定位后再逐步放大

先在低倍率下完成定位、对焦、亮度调整;

再逐步放大观察,避免在高倍率下因样品微动而失去目标区域。

7. 避免充电和电荷积累

非导电样品带电也会导致图像漂移(电荷引力扰动电子束);

可通过喷金、低压模式或导电胶接地等方法处理。


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作者:泽攸科技