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扫描电镜样品带电时成像模糊,如何避免?

日期:2025-06-12

当使用扫描电镜(SEM)观察非导电样品(如生物样本、陶瓷、高分子材料等)时,样品带电可能导致图像模糊、偏移、亮度不均或漂移。以下是成因分析和有效的避免方法:

一、成因:为什么样品会带电?

扫描电镜使用电子束照射样品,若样品为非导电或低导电材料,电子无法及时流走,便会在表面堆积,产生电荷积累。这会:

干扰电子束路径,造成图像漂移或模糊;

引起亮度忽明忽暗;

使图像出现“条纹”、“阴影”或“镜面效应”。

二、如何避免样品带电造成的成像问题?

1. 对样品进行金属喷镀

常用且有效的方法:

在样品表面喷一层金属导电层,如金(Au)、铂(Pt)、碳(C)等;

常使用离子溅射仪或真空蒸镀仪;

金属层厚度一般为几纳米至几十纳米,不影响细节成像。

2. 使用低电压(低加速电压)成像

将加速电压调低至 1–5 kV,可以降低电子束穿透深度,减少电荷积累;

适用于表面观察,减少样品损伤。

3. 使用环境扫描电镜(ESEM)或低真空模式

部分 SEM 支持 低真空或变量压模式(如 ESEM);

环境中微量气体可中和电子,减少带电;

可直接观察非导电样品,无需喷镀。

4. 接地处理

若样品形状规则、易于接触,建议将样品表面接触导电胶(如碳胶、银胶);

与样品台金属形成良好电连接,使电荷可导出。

5. 减少电子束照射时间

缩短曝光时间;

避免在同一区域停留过久,减少电子积聚。

6. 使用导电膜覆盖

对特殊样品(如某些湿样或柔软材料),可采用一层导电聚合物膜或碳膜覆盖;

不损伤样品同时提供导电通道。


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作者:泽攸科技