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在扫描电镜（SEM）成像过程中，调整焦距（Focus）是获得清晰图像的关键步骤。焦距的实质，是调整电子束与样品表面交汇的焦点位置，以获得锐利的图像细节。以下是详细的调整方法与注意事项：

一、焦距调整的基本方式

使用“Focus”旋钮或软件按钮

绝大多数扫描电镜配有：

粗调（Coarse Focus）

细调（Fine Focus）

建议先用粗调接近清晰，再用细调精细调整。

通过调整工作距离（Working Distance, WD）影响焦点

焦距和工作距离密切相关。较短的工作距离有助于高分辨率，但景深较浅；较长的工作距离景深更大，但分辨率略低。

在部分电镜中，焦距调节会自动调整工作距离。

二、操作流程

选用适当加速电压

一般建议中等电压（如 5–15 kV）获得初始图像，更容易找到焦点。

将样品移动到目标区域

先用低倍率（如 100x、500x）找到目标区域。

切换到中倍率或高倍率

焦点在高倍率下更容易判断清晰与否。建议在 1000x–5000x 做精细调焦。

调节聚焦（Focus）旋钮

缓慢调节，使图像边缘、纹理等清晰为准。

若图像模糊无改善，检查是否高度未调平或样品未贴平。

可使用动态聚焦模式（if available）

有些 SEM 提供自动聚焦（Auto Focus）功能，也可以辅助快速找到焦点，但精调仍需手动完成。

三、调焦时的注意事项

避免图像漂移或抖动干扰判断：建议在电镜稳定后操作；

对高放大倍率图像调焦困难时：

可先在较低倍率聚焦后再逐级放大，分步调焦；

样品表面不平整时：建议以主要观察区域为焦点，或使用“倾斜样品台”优化观察角度；

非导体样品调焦困难：可能因充电效应模糊图像，应考虑镀膜或降低电压。