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判断扫描电镜（SEM）图像是否失真，可以从以下几个关键方面入手进行识别和判断：

1. 图像比例是否准确（倍率/标尺失真）

方法：对照已知尺寸样品或标准样本（如金属线栅、纳米球）进行标定。

表现：图像中比例尺与实际不符，如明明是100nm的颗粒却被显示为150nm，说明倍率校准有误。

2. 几何变形

拉伸或压缩现象：图像某一方向（X 或 Y）被拉长或压扁，常由于扫描速率不同步或扫描控制电路异常引起。

判别方法：观察圆形结构是否仍为圆形；也可以通过校准样本（如圆孔阵列）确认。

3. 漂移引起的重影

原因：样品在扫描过程中因热漂移或电子束辐照造成轻微移动。

表现：图像边缘出现“重影”或模糊拖尾，尤其是在长时间高分辨采集中更易发生。

解决：减小扫描时间，或使用冷却台、样品稳定器。

4. 条纹/线纹失真

表现：图像中出现周期性条纹、波纹。

可能原因：

扫描线不稳定；

样品充电（非导体）导致；

电源噪声或干扰信号。

处理：改善接地、对非导体样品进行镀金/碳、降低加速电压。

5. 颗粒感或信噪比失衡

表现：图像噪声大、颗粒感强、难以辨识边缘。

可能原因：

探测器增益设置过高；

探测器或样品位置异常；

信号积分时间过短。

建议：适当延长积分时间、优化探头距离。

6. 聚焦问题

表现：图像模糊不清、边缘不锐利，常被误判为失真。

判断方法：调节工作距离和聚焦旋钮，看是否能获得锐利图像。

7. 扫描磁偏转系统异常

表现：图像整体扭曲、变形；

解决：检查 扫描电镜（SEM） 扫描线性电路或执行重新校准。